1. 加隔离单元以及辅助供气模块，以压力分区的方式实现：比如MPA阀岛，通过底座之间的隔离密封件和辅助气源模块 […]

​1.实现压力分区：作为不同的气源压力输入，比如同一个阀岛上，既有阀片供气压力为真空的阀组，也有阀片供气压力为 […]