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OVEL参数inactive time的含义。

/07 真空 / 真空发生器 / OVEL参数inactive time的含义。
  • 2020年8月10日
  • ts
  • 真空发生器

​样本中的inactive time是指OVEL的死区时间dead time,是真空发生器的阀在切换和产生真空的时间延迟。

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标签: inactive time的含义OVEL参数

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