如图所示，在MS6-SV-D/E正常加压工作完成，切断EN1/EN2使能信号，内部V1/V2先导阀排气，即WV4和WV6活塞底部排气，WV4和WV6复位，在WV4复位过程中WV5的控制气排气(黄色箭头)，WV5复位。所以WV5复位是少许滞后于WV4和WV6复位的，在这个过程中就会出现进气口Pin与排气口短暂导通的现象，会造成进气口Pin产生短暂压降。
所以在气路系统设计中需要注意，如果气源处理在MS6-SV-D/E之前配置有气源分支用于供应其他设备，并且要求在MS6-SV-D/E排气时前端供气压力为稳定气压，那么建议配置储气罐并且储气罐的前端气路需配置止回阀(单向阀)。
例如， MS6-SV-D/E的前端配置的气源分支模块的支路连接有真空发生器的话，在MS6-SV-D/E排气时，这种应用会有可能造成真空无法可靠维持导致工件掉落的。所以为了保证压降不对真空发生器进气压力造成影响，建议真空发生器进气前端连接带有止回阀的储气罐。
