故障现象:

客户使用一个VPCF流量比例阀控制气体流量,介质为氮气,比例阀偶发性反馈数值会在设定值不变的情况下跳变至350左右,见下图,只有断电才能复位至初始值。

问题原因:
该流量比例阀密封结构为硬密封,气源质量要求5um的精度,客户主气源到分支气源之间没有气源处理装置,气源质量可能达不到要求,过大的颗粒物可能会导致阀芯卡死,另外比例阀标配G螺纹,客户使用R螺纹带涂层接头,拧入时有涂层脱落掉入阀芯的风险,见下图。

整改建议:
建议客户按照手册要求提供气源,保证产品稳定运行。